隨著真空技術在應用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求,處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示“差”的意思。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
結構緊湊,泵的轉數(shù)較高,一般可與電動機直聯(lián),無須減速裝置。故用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍,
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵。
真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。